氦质谱检漏仪 发布时间：2026-10-22
一、 设备概述
设备名称：氦质谱检漏仪
品牌型号：HESZK AT600
金鉴实验室配置的HESZK AT600氦质谱检漏仪采用德国普发复合型分子泵 SplitFlow80、德国莱宝真空计 TTR91N、德国宝蒂电磁阀、美国纽曼蒂克电磁阀、鲍斯机械泵等部件，标准漏孔。
二、设备工作原理
质谱核心物理原理
仪器内部灯丝发射电子，电子撞击进入电离室的气体分子，将氦气电离成氦正离子；离子经加速电场进入磁场，受洛伦兹力发生偏转；不同分子量离子偏转半径不同，仪器只选取氦质量数对应的离子到达接收极，把离子电流转化电信号。信号大小对应氦气流量，经过标准漏孔校准后，直接输出漏率（Pa·m3/s 等单位）。
选用氦气原因：氦属于惰性气体，不会腐蚀样品；分子量小，极易穿透微小漏孔扩散；空气中氦本底含量极低，检测干扰小
工作模式原理
1） 真空模式（负压检漏，本设备最小可检漏率 5x10-13Pa·m3/s）
1. 1 将待测空腔样品/腔体连接检漏仪，把样品内部抽成真空；
1. 2 在样品外部焊缝、密封位置喷吹氦气；
1.3 如果存在漏孔，外部氦气穿过漏孔进入样品内部，被检漏仪真空泵抽入质谱分析单元；
1.4 质谱检测氦离子，计算漏率，可定位漏点。适合真空腔体、小型空腔器件。
空腔元器件也会采用背压法（炸弹法）：先把样品放在高压氦气罐内加压，每气通过漏孔压进样品内腔；再取出样品，放到检漏真空罐抽真空，样品内部氦气从漏孔释放出来，被检漏仪捕获测量漏率，是半导体封装最常用方式。
2） 吸枪模式（正压嗅採模式，本设备最小可检漏率1x10-7Pa·m3/s）
2.1 向待测样品内部充入一定压力氦气；
2.2 手持吸枪探头，沿着样品外表面密封缝、焊缝扫描移动；
2.3 若存在泄漏，内部氦气从漏孔向外逸出，被吸枪吸入送入质谱；
2.4 根据氦信号大小判断漏点位置与漏率。适合模组、大型工件，不需要把样品抽真空，但灵敏度低于真空模式。
三、设备主要技术指标
1. 最小可检漏率（真空模式）：5×10-13Pa·m3/s
2. 最小可检漏率（吸枪模式）：1×10-7 Pa·m3/s
3. 检漏口压力：Gross:1500 Pa; Fine:200 Pa; Ultra:40 Pa
4. 粗抽能力：14.5m3/h+77.5m3/h（二级扩展）
5. 氦气抽速（Gross模式）：8 l/s
6. 氦气抽速（Fine模式）：7 l/s
7. 氦气抽速（Ultra模式）：2.5 l/s
8. 检漏口规格：DN 25 ISO-KF
9. 启动时间： ≤170s
10. 接口：RS-232/485 USB
11. 输入/输出接口：Digital I/O,Relays
四、应用领域
氦质谱泄漏检测仪在气体泄漏检测中有许多应用领域，如管道和设备泄漏检测、有害气体排放风险检测、空气污染源检测、燃料管道火灾隐患检测、空腔封装电子元器件密封性检测等。
五、设备检测目的
氦质谱检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。
六、测试标准
JEDEC JESD22-A109B
七、测试参数
气密性：Pa·m3/s、atm.cc/s、mbar·L/s
八、适用样品和大小尺寸
器件检测适用于大小不超过（直径80mm*高40mm）需要做氦气检漏的空腔（实体中有一部分是空的）样品 。
模组检测适用于大小不超过（直径500mm*高200mm）需要做氦气检漏的空腔（实体中有一部分是空的）样品 。
九、金鉴实验室试验案例
案例一：
案例二：
基础信息
标准判据：5E-9 Pa·m3/s（≤5×10-9为合格，大于则不合格）
氦细漏（背压法 / JESD22-A109），数值越大代表泄漏越严重
检测数据
编码 | 测试值 | 判定 |
24 | 5.5x 10-8 | ❌ 不合格（漏很大） |
25 | 2.0x10-9 | ✅ 合格 |
28 | 2.1x10-10 | ✅ 合格 |
31 | 2.7x10-10 | ✅ 合格 |
32 | 1.2x10-9 | ✅ 合格 |
37 | 2.7x10-10 | ✅ 合格 |
43 | 1.8x10-10 | ✅ 合格 |
50 | 2.7x10-10 | ✅ 合格 |
