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氩离子抛光切割制作SEM样品发布时间:2017-04-23 13:06:08


氩离子光技术是利用氩离子束对样品进行抛光,可以获得表面平滑的样品,而不会对样品造成机械损害。去除损伤层,从而得到高质量样品,用于在 SEM,光镜或者扫描探针显微镜上进行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC或其它分析。氩离子抛光仪制样广泛,可用于于各种材料样品(除了液态)的制备,适应大多数材料类型,对大面积、表面或辐照及能量敏感样品尤佳,有钢铁、地质、油页岩、 锂离子电池、光伏材料、陶瓷、金属(氧化物,合金)、 高分子,聚合物、薄膜、半导体、EBSD样品、生物材料等包括平面抛光与截面抛光。


针对不同的样品的硬度,设置不同的电压、电流、离子枪的角度、离子束窗口,控制氩离子作用的深度、强度、角度、这样精准的参数,有利于制备成研究者理想的材料样品,这样的样品不仅表面光滑无损伤,而且还原材料内部的真实结构,正如页岩内部的细微孔隙在SEM下放大到100K时也能看得清清楚楚,以及材料内部的不同物质分层都能看的分界线明显。




机械研磨抛光和氩离子抛光对比

1.  从适合于不同样品的角度分析

氩离子抛光仪适用于各类样品,能够用于制备软硬材料不同的材料,而机械研磨抛光只能用于制备硬度有均一的样品,详见下图:



2.  从抛光样品的效果角度分析

由于氩离子抛光技术是利用氩离子束对样品进行抛光,氩离子束作用精准而柔和,因此可以获得表面平整光滑、划痕损伤少、界限清晰的样品。而机械研磨抛光制备出来的样品表面粗糙不平、坑坑洼洼、划痕损伤多、界限不清。




    

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