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您当前的位置:首页 > 服务设备 > 材料分析 > X射线能谱仪(EDS) X射线能谱仪(EDS)

X射线能谱仪(EDS)发布时间:2014-07-16 14:49:52

1. 设备型号

Horiba 7021-H


2. 原理

EDS能谱仪,是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线,根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析,以及特定区域之point、line scan、mapping分析。


3. 分析数据注意点
  • 主要用于元素的定性分析;
  • 能谱仪能够分析原子序数大于5的元素,波谱仪可以分析原子序数从4~92之间的所有元素;
  • EDS的分析方式有点分析、线分析和面分析;点分析得到一点的所有元素;线分析每次对指定的一条线做一种元素分析,多次扫描得到所有元素的线分布;面分析对一个指定面内的所有元素分析,测得元素含量是测量面范围的平均值。
  • EDS做微区分析时所激发的体积为10um3 左右;
  • EDS常常与SEM结合使用,可对目标部位进行点、线、面形貌扫描和成分分析;
  • 检测极限:0.1%,只能做半定量分析,精度一般在1%到5%,深度一般为1~5微米。

4. 应用领域及分析案例

(1)灯珠来料元素检测

元素检测

(2)芯片结构分析

芯片结构分析

3)支架结构分析

支架结构分析


4)锂电池材料元素分布

锂电池材料元素分布

锂电池材料元素分布

5)其他方面应用

其他


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