金鉴检测
金鉴检测

服务设备

联系我们

广东金鉴检测科技有限公司

联系人员:邱工:18816786100

                  张工:13928762392 

                  林工:18138729186 

                  邵工:18811843699

邮政编码 :511340

微信订阅号:ledqalab

服务热线:400-006-6368

投诉建议:020-32199187

传真号码:020-26225379

电子邮箱:sales@gmatg.com

寄样地址:广州市增城区永宁街香山大道2号侨梦苑创新中心一楼

您当前的位置:首页 > 服务设备 > 材料分析 > 聚焦离子显微镜(FIB-SEM) 聚焦离子显微镜(FIB-SEM)

聚焦离子显微镜(FIB-SEM)发布时间:2016-02-15 13:40:00


FIB 双束聚焦离子束显微镜

设备型号:Zeiss Auriga Compact


FIB-SEM主要功能

1.场发射扫描电镜(SEM):各种材料形貌观察和分析,如金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等,放大率:12×~1000,000×;分辨率1.0nm @ 15kV;1.9 nm @ 1kV;
2.X射线能谱分析仪(EDS):材料微区成分分析;MnKa峰的半高宽优于127eV;CKa峰的版高宽优于56Ev;FKa峰的半高宽优于64eV;元素Be4-U92;
3.聚焦离子束系统(FIB):材料微纳结构的样品制备,包括:SEM在线观察下制备TEM样品、材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积等,放大率:300×~500,000×;分辨率2.5nm @ 30kV。
4.背散射电子探头(BSD):基于不同元素衬度不同,BSD探头除了观察样品形貌衬度,同时能够实现对样品成分衬度的观察。
5.纳米操纵手:用于超薄样品(纳米级)固定转移及精细加工。
6.气相沉积系统(GIS):FIB加工前为材料提供保护层,或用于材料精加工。 


技术参数   


AURIGA Compact

主机台

FESEM

FIB

分辨率


0.9nm at 30kV 
1.2nm at 15kV and optimum WD
2.5nm at 1kV and optimum WD


5nm(30kV,1pA)

放大倍率

12x-1000kx

600x-500kx

束流

4pA-100nA

1Pa-50nA

加速电压

0.1-30kV

1-30kV

电子枪

肖特基热场发射型

Ga液态金属离子源(LMIS)

气体注入系统


a)最多为5通道的多通道气体注入器
(Pt,C,W,I2,Au,SiOX,XeF2以及要求的其它前驱体)
b)带有集成式局部电荷中和系统的最多为4通道的多通道气体注入器.
以及/或者配备原位清洁装置(可使用所有的标准探头)
c)只有一个前驱体的单通道气体注入器系统(Pt气体)
d)全自动和气动式可伸缩气体注入器系统,可用作局部电荷中和或原位样品清洁装置
(可以使用所有的高真空标准探测器)


 

探测器


In-lens:高效环形in-lens二次电子探测器
Chamber:ET二次电子探测器


 


版权所有@ 2012-2018 金鉴实验室 Gold Medal Analytical & Testing Group 保留所有权利 粤ICP备13003428号

寄样地址:广东金鉴检测科技有限公司,广州市增城区永宁街香山大道2号侨梦苑创新中心一楼,邱工:18816786100  张工:13928762392   林工:18138729186  邵工:18811843699

邮政编码:511340,邮箱:sales@gmatg.com,LED品质实验室微信订阅号:ledqalab